高壓清洗機在玻璃基板清洗中的應(yīng)用

    時間:2014-11-26 14:59:39作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設(shè)備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信

    在當(dāng)今的LCD顯示器生產(chǎn)過程中,清洗工藝的應(yīng)用是非常重要的,例如涂膠前對ITO玻璃的清洗、顯影后對玻璃基板的清洗以及磨擦工藝后對玻璃基板的清洗等。液晶顯示器的一整套制備工藝中,清洗工藝就占到了總工作量的30%~40%。隨著液晶顯示技術(shù)的不斷進步,清洗工藝的地位也越來越重要。以下是液晶顯示器的生產(chǎn)流程簡圖,我們可以從中看到清洗工藝在整個工藝路線中的重要性。
     
    液晶顯示器的生產(chǎn)流程圖

    ITO薄膜層、TFT陣列等制備工藝過程以及玻璃基板的包裝、搬運、運輸和存儲過程是玻璃基板上的主要污染程序,其主要污染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油或油脂等油,以及三氧化二鋁、二氧化硅等無機微粒和制備過程中遺留的殘留物、水跡、手指印等。在整個LCD的清洗過程中,業(yè)內(nèi)針對上述污染物采用過不同的清洗方法,一方面是要去除玻璃基板上沾染的污染物,避免其對液晶顯示器的性能造成不良的影響,而另一方面也可以起到改善玻璃基板表面性能,增加其與加工過程中使用的各種材料之間的親合力。
     
    TFT-LCD 模組構(gòu)成

    隨著液晶生產(chǎn)線對清洗工藝要求越來越高,工程師們提出了將高壓水射流技術(shù)應(yīng)用于玻璃基板清洗中的可能。在使用常壓水噴淋清洗時,噴射到玻璃基板上的水在其高表面張力的作用下,會在玻璃簡板表面形成一層水膜。水膜和混合基板表面上的微細(xì)顆粒和其他污垢,這反而會對污垢起到保護作用,后續(xù)的水則很難將這層水膜沖破,因此會使清洗效率降低。而高壓水射流技術(shù)是一種新型的清洗技術(shù),我們采用超高壓微細(xì)顆粒水噴射清洗,將水形成大量的粒徑在幾微米到幾十微米的微細(xì)液滴,并以極高的速度和密度連續(xù)地噴射沖擊被清洗物表面。由于這種微細(xì)顆粒的水滴不可能形成對污垢有保護作用的水膜,因此對基板上的各種污垢特別是微細(xì)顆粒污垢有很好的去除效果。

    將高壓清洗機應(yīng)用到玻璃基板的清洗工藝中,可通過將清洗液加壓到100~300bar的壓力,再通過孔徑為0.5~1.5mm的微孔噴射嘴噴出,形成高流速的微小液滴來清洗玻璃基板。實際應(yīng)用表明,高壓清洗機的應(yīng)用提高了常壓噴淋清洗的洗凈力,縮短了清洗線的長度,并且節(jié)省了凈化空間和DI水的使用量。

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