多晶硅正從光伏邁向電子級(jí) 還原爐清洗不可忽視

多晶硅，作為光伏與半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)命脈，其自身品質(zhì)與成本狀況極大程度地決定了行業(yè)的發(fā)展水平。集成電路用的電子級(jí)硅材料幾乎是目前工業(yè)領(lǐng)域純度要求最高的產(chǎn)品，純度要求達(dá)到99.99999999999%，即11個(gè)9以上，而普通太陽能級(jí)多晶硅材料純度通常在5～8個(gè)9左右，國(guó)內(nèi)多晶硅正由光伏邁向電子級(jí)。
 
國(guó)際咨詢機(jī)構(gòu)IBS發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，從2014年起，中國(guó)集成電路市場(chǎng)規(guī)模在全球占比超過50%，預(yù)計(jì)到2020年超過60%。根據(jù)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確提出的發(fā)展目標(biāo)，2018年中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)22.0%，產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到6400億元。到2020年將全面達(dá)到全國(guó)集成電路發(fā)展“十三五”規(guī)劃的目標(biāo)，產(chǎn)業(yè)銷售規(guī)模達(dá)到9300億元。

在多晶硅的生產(chǎn)過程中，一些物料和污物會(huì)粘附在內(nèi)壁、視孔鏡、底部法蘭上，增加反應(yīng)生成過程中的能耗，增加生產(chǎn)成本，更加影響多晶硅的質(zhì)量，影響了多晶硅的純度。為了保證多晶硅還原爐表面的潔凈度，需要對(duì)還原爐清洗和烘干等工作。
 
德高潔公司憑借多年來對(duì)自動(dòng)化清洗系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造的成熟經(jīng)驗(yàn)和能力，早在2009年就研發(fā)出多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)，經(jīng)過多年來客戶的實(shí)際應(yīng)用和需求，通過總結(jié)借鑒國(guó)內(nèi)外經(jīng)驗(yàn)，德高潔對(duì)污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認(rèn)識(shí)，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，進(jìn)一步研制出電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。
 
德高潔電子級(jí)多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)對(duì)還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干，清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。一次吊裝在一個(gè)工作臺(tái)上完成全部清洗、烘干過程，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程對(duì)樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。

全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設(shè)計(jì)出口排放，基本消除了對(duì)現(xiàn)場(chǎng)及操作人員的污染。核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口保證了電子級(jí)多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能的可靠，可以在一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)鐘罩的清洗烘干。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國(guó)內(nèi)90%的用戶，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。